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国科光芯金杏申请集成光学结构及其制备方法专利解决光电探测器和电光调制器在电连接过程中金属电极的冲突

  

国科光芯金杏申请集成光学结构及其制备方法专利解决光电探测器和电光调制器在电连接过程中金属电极的冲突

  金融界2025年8月23日消息,国家知识产权局信息显示,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司申请一项名为“集成光学结构及其制备方法”的专利,公开号CN120522915A,申请日期为2025年05月。

  专利摘要显示,本发明涉及光电集成技术领域,公开了集成光学结构及其制备方法。制备方法包括:形成硅基平台;在硅基平台上形成氮化硅结构层,包括与部分的硅元件对应设置的氮化硅波导芯;在硅基平台上形成光电探测器,第一电极的表面与氮化硅元件的表面平齐;设置防护结构,保护层覆盖氮化硅结构层和光电探测器,停止图形设置在保护层上且与氮化硅波导芯错位设置;在氮化硅波导芯的旁侧形成第二电极,第二电极与停止图形相平齐;形成第一导电结构和第二导电结构;设置电光调制器。本发明通过两次停止层,使第一电极和第二电极的制备工艺兼容,解决了光电探测器和电光调制器在电连接过程中金属电极的冲突,保证硅基平台、光电探测器和电光调制器的高质量集成。

  天眼查资料显示,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司专利信息39条,此外企业还拥有行政许可2个。

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